美國BROOKS流量計-金屬密封壓力控制器-穩(wěn)定的壓力控制和增強的工藝氣體純度和最大化過程結果
Brooks Instrument 的金屬密封壓力控制器設計可靠耐用，同時提供全球用戶信賴的持續(xù)且經(jīng)過驗證的精度，來自流體測量和控制領域的領導者。我們的電子壓力控制器利用我們行業(yè)領先的熱式質(zhì)量流量控制器中的核心控制技術。
電子壓力控制器消除了與傳統(tǒng)機械彈簧隔膜壓力調(diào)節(jié)器相關的下垂和滯后。而且，選擇金屬密封壓力控制器可以提高氣體的純度，因為消除了氧氣通過彈性體的滲透，并且由于金屬密封可以無限期地使用，因此可以減少維護。
Brooks 壓力控制器可配備內(nèi)部壓力傳感器，以控制從 torr 到 500 psig 范圍內(nèi)的壓力。結果：壓力控制器使關鍵的半導體工藝保持在目標上并處于最嚴格的控制之下——日復一日，日復一日。
主要應用
硅半導體器件制造工藝——蝕刻、剝離、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、注入和 RTP
化合物半導體器件制造工藝——MOCVD
精密工程表面涂層
分析系統(tǒng)
真空工藝應用
選擇最符合您項目要求的壓力控制裝置。
產(chǎn)品