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美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
- 產(chǎn)品分類:
- 展開更多評論2025-5-9 10:17:26
- 美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
挑戰(zhàn):最大化工具正常運(yùn)行時間和生產(chǎn)力
質(zhì)量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導(dǎo)體工藝工具的基礎(chǔ)。流程工具只有在啟動和運(yùn)行時才能獲得數(shù)百萬美元的投資回報;如果 MFC 偏離關(guān)鍵設(shè)定點,或者新的制造工藝需要多種氣體(和多個 MFC),則轉(zhuǎn)換和/或重新校準(zhǔn)或維修的停機(jī)時間會增加。 - 市場價:¥0.00
- 本站價:¥0.00
美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
挑戰(zhàn):最大化工具正常運(yùn)行時間和生產(chǎn)力
質(zhì)量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導(dǎo)體工藝工具的基礎(chǔ)。流程工具只有在啟動和運(yùn)行時才能獲得數(shù)百萬美元的投資回報;如果 MFC 偏離關(guān)鍵設(shè)定點,或者新的制造工藝需要多種氣體(和多個 MFC),則轉(zhuǎn)換和/或重新校準(zhǔn)或維修的停機(jī)時間會增加。
解決方案:支持高級 MultiFlo ®的 GF 系列 MFC
以超高純度準(zhǔn)確、可重復(fù)地輸送工藝氣體——這就是 GF 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表所提供的性能。GF 系列已通過七倍于半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的可靠性測試。全金屬流路和耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器確保最高水平的氣體純度和無水分流動。獨(dú)特的可編程 MultiFlo® 技術(shù)使一個 MFC 能夠支持?jǐn)?shù)千種氣體類型和范圍組合。
結(jié)果:提高了工藝靈活性和效率,并結(jié)合了行業(yè)最高水平的工藝氣體純度,有助于最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)力。
產(chǎn)品 |
美國BROOKS流量計GP200系列 |
美國BROOKS流量計GP100EtherCAT系列 | 美國BROOKS流量計GP100系列 |
產(chǎn)品類別 | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量控制器 |
微分器 |
完全壓力不敏感的 P-MFC 在最廣泛的操作條件下提供最精確的工藝氣體輸送 |
EtherCAT 通訊 高純度/超高純度 嵌入式診斷 超穩(wěn)定的流量傳感器 改進(jìn)的閥門關(guān)閉 |
高純度/超高純度 標(biāo)準(zhǔn)GF系列 高流量GF系列 超快響應(yīng)時間 壓力瞬態(tài)不敏感 |
密封材料 | 金屬 | 金屬 | 金屬 |
純度水平/表面光潔度 | 3 sccm - 50,000 sccm |
標(biāo)準(zhǔn) GF 系列:3 sccm - 55 slm 高流量 GF 系列:55 slm - 300 slm |
標(biāo)準(zhǔn) GF 系列:3 sccm - 55 slpm 高流量 GF 系列:55 slpm - 300 slpm |
準(zhǔn)確性 |
零泄漏閥 <± 1% SP (5-100% FS) <± 0.05% FS (0.5-5% FS)
<± 1% SP (5-100% FS) <± 0.05% FS (2-5% FS) |
標(biāo)準(zhǔn)GF系列:±1% SP > 20-100%;±0.2% 滿量程 2-20% 高流量 GF 系列:±1% SP > 35-100%;±0.35% 滿量程 2-35% |
±1% SP > 35-100% ±0.35% 滿量程 2-35% |
最大壓力 | 150 磅/平方英寸 |
標(biāo)準(zhǔn) GF 系列:最大 500 psia 高流量 GF 系列:75 psig(控制器),150 psig(米) |
標(biāo)準(zhǔn) GF 系列:最大 500 psia 高流量 GF 系列:75 psig(控制器),150 psig(米) |
最高溫度 | 60攝氏度_ | 50攝氏度_ | 50攝氏度_ |
模擬通信 | 0-5 伏直流電 | - | 0-5 伏直流電 |
數(shù)字通信 |
DeviceNet™ EtherCAT® RS-485 L 協(xié)議 |
EtherCAT® |
DeviceNet™ RS485 L-協(xié)議 |
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