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美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
  • 美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表

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  • 展開更多評論2025-6-30 10:13:38
  • 美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表
    挑戰(zhàn):最大化工具正常運行時間和生產(chǎn)力
    質(zhì)量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導(dǎo)體工藝工具的基礎(chǔ)。流程工具只有在啟動和運行時才能獲得數(shù)百萬美元的投資回報;如果 MFC 偏離關(guān)鍵設(shè)定點,或者新的制造工藝需要多種氣體(和多個 MFC),則轉(zhuǎn)換和/或重新校準或維修的停機時間會增加。
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美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表


挑戰(zhàn):最大化工具正常運行時間和生產(chǎn)力
質(zhì)量流量控制器的可靠性和多功能性能是許多半導(dǎo)體工藝工具的基礎(chǔ)。流程工具只有在啟動和運行時才能獲得數(shù)百萬美元的投資回報;如果 MFC 偏離關(guān)鍵設(shè)定點,或者新的制造工藝需要多種氣體(和多個 MFC),則轉(zhuǎn)換和/或重新校準或維修的停機時間會增加。

解決方案:支持高級 MultiFlo ®的 GF 系列 MFC
以超高純度準確、可重復(fù)地輸送工藝氣體——這就是 GF 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表所提供的性能。GF 系列已通過七倍于半導(dǎo)體行業(yè)標準的可靠性測試。全金屬流路和耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器確保最高水平的氣體純度和無水分流動。獨特的可編程 MultiFlo® 技術(shù)使一個 MFC 能夠支持數(shù)千種氣體類型和范圍組合。

結(jié)果:提高了工藝靈活性和效率,并結(jié)合了行業(yè)最高水平的工藝氣體純度,有助于最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)力。

 

美國BROOKS流量計GP系列
產(chǎn)品

美國BROOKS流量計GP200系列

美國BROOKS流量計GP100EtherCAT系列 美國BROOKS流量計GP100系列
產(chǎn)品類別 質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量控制器
微分器

完全壓力不敏感的 P-MFC

在最廣泛的操作條件下提供最精確的工藝氣體輸送

EtherCAT 通訊

高純度/超高純度

嵌入式診斷

超穩(wěn)定的流量傳感器

改進的閥門關(guān)閉

高純度/超高純度

標準GF系列

高流量GF系列

超快響應(yīng)時間

壓力瞬態(tài)不敏感

密封材料 金屬 金屬 金屬
純度水平/表面光潔度 3 sccm - 50,000 sccm

標準 GF 系列:3 sccm - 55 slm

高流量 GF 系列:55 slm - 300 slm

標準 GF 系列:3 sccm - 55 slpm

高流量 GF 系列:55 slpm - 300 slpm

準確性

零泄漏閥

<± 1% SP (5-100% FS)

<± 0.05% FS (0.5-5% FS)


金屬密封閥

<± 1% SP (5-100% FS)

<± 0.05% FS (2-5% FS)

標準GF系列:±1% SP > 20-100%;±0.2% 滿量程 2-20%

高流量 GF 系列:±1% SP > 35-100%;±0.35% 滿量程 2-35%

±1% SP > 35-100%

±0.35% 滿量程 2-35%

最大壓力 150 磅/平方英寸

標準 GF 系列:最大 500 psia

高流量 GF 系列:75 psig(控制器),150 psig(米)

標準 GF 系列:最大 500 psia

高流量 GF 系列:75 psig(控制器),150 psig(米)

最高溫度 60攝氏度_ 50攝氏度_ 50攝氏度_
模擬通信 0-5 伏直流電 - 0-5 伏直流電
數(shù)字通信

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L 協(xié)議

EtherCAT®

DeviceNet™

RS485 L-協(xié)議

 

美國BROOKS流量計GP系列高純度和超高純度氣體質(zhì)量流量控制器和儀表

 

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