5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過程效率，這得益于設(shè)備無需對氣體壓力進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。
美國BROOKS流量計(jì)5850EM系列特點(diǎn)
長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
能夠根據(jù)命令變化在 3 秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計(jì)
流量范圍寬 - 3 sccm 至高達(dá) 30,000 slpm
高壓額定值 - 高達(dá) 1,500 psi
可選增強(qiáng)型內(nèi)部后處理工藝 - 5µ 英寸 Ra（平均值）
可拆卸式流量傳感器
不受安裝角度影響
其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容
TTL 兼容型"閥關(guān)閉"和吹掃功能
美國BROOKS流量計(jì)5850EM系列優(yōu)勢
全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)
在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
由于性能可靠，因此投資回報(bào)率出眾
采用可拆卸式流量傳感器，因此無需對氣壓進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)
由于模擬量僅為輸入/輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)
美國BROOKS流量計(jì)5850EM系列應(yīng)用
光端機(jī)
LED/MOCVD
半導(dǎo)體
太陽能