美國BROOKS流量計GF80特點
長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內穩(wěn)定
滿量程流速高達 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補償實現(xiàn)的一流溫度系數(shù)規(guī)范
內嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口
帶有 VCR 配件的細線體設計
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
美國BROOKS流量計GF80優(yōu)勢
1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC
60 秒內即可完成新氣體和/或量程的設定操作
測量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間最大化
規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設備空間內；設備改型的絕佳選擇
多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
美國BROOKS流量計GF80應用
對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經濟高效的改型/升級
減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存
用于 LED 和功率器件生產的 MOCVD
太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設備
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規(guī)、四極質譜儀、壓強控制系統(tǒng)、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。